業界初のセンターマグネットタイプと,
業界トップの加速度 ツインタイプ
リニアサーボシステム 「SANMOTION」を開発
2016年4月25日
山洋電気株式会社は,リニアサーボシステム「SANMOTION」のラインアップを拡充し,
業界初のセンターマグネットタイプと,業界トップの加速度を実現したツインタイプを開発しました。
半導体製造装置,液晶ディスプレイ製造装置,チップマウンタ,ボンダ,搬送装置などに最適です。
特長
1. 装置に磁気吸引力が作用しない
センターマグネットタイプを業界で初めて製品化しました。
モータ自身で磁気吸引力を打ち消すことができ,装置の構造を簡素にできます。
2. 業界トップの加速度
両タイプともに25Gを達成し,業界トップの加速度を実現しました。※1
装置を高速に駆動でき,タクトタイムの短縮と生産性の向上に貢献します。
3. 小型,大推力
当社従来品※2と比べてセンターマグネットタイプは30%,ツインタイプは12%小さくなりました。
小型ながら推力は,当社従来品※2と比べてセンターマグネットタイプは42%,ツインタイプは13%向上し,
業界トップの性能です。※1,3
※1 類似形状のコア付型リニアサーボモータと比較した場合。2016年4月25日現在,当社調べ。
※2 当社従来品 リニアサーボシステム コア付ツインタイプ(型番:DD045CB4AN)
※3 当社従来品と単位体積あたりの推力を比較した場合。
仕様
センターマグネットタイプ リニアモータコイル
コイル型番 | 定格推力 [N] |
最大推力 [N] |
定格速度 [m/s] |
最高速度 [m/s] |
磁気吸引力 [N] |
コイル質量 [kg] |
サーボ アンプ 型番 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
DT030CD1AN | 350 | 650 | 1.9 | 2.5 | 0 | 2.4 | RS2A03L RS3A03L |
センターマグネットタイプ マグネットレール
マグネットレール型番 | マグネットレール長さ[mm] | マグネットレール質量[kg] |
---|---|---|
DT030M128 | 128 | 0.5 |
DT030M256 | 256 | 0.9 |
DT030M512 | 512 | 1.9 |
ツインタイプ リニアモータコイル
コイル型番 | 定格推力 [N] |
最大推力 [N] |
定格速度 [m/s] |
最高速度 [m/s] |
磁気吸引力 [N] |
コイル質量 [kg] |
サーボ アンプ 型番 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
DD035CC2AN | 610 | 1400 | 2.0 | 3.0 | 0 | 5.0 | RS2A10L RS3A07L |
ツインタイプ マグネットレール
マグネットレール型番 | マグネットレール長さ[mm] | マグネットレール質量[kg] |
---|---|---|
DD035MB064 | 64 | 0.9 |
DD035MB128 | 128 | 1.9 |
DD035MB256 | 256 | 3.7 |
DD035MB512 | 512 | 7.5 |
用途
半導体製造装置,液晶ディスプレイ製造装置,チップマウンタ,ボンダ,搬送装置など
発売日
2016年6月1日
価格
オープンプライス
リリースに記載されている内容はすべて,2016年 4月 25日の実績です。
「SANMOTION」は山洋電気株式会社の登録商標です。