プロダクトニュース

業界初のセンターマグネットタイプと,
業界トップの加速度 ツインタイプ
リニアサーボシステム 「SANMOTION」を開発

2016年4月25日

山洋電気株式会社は,リニアサーボシステム「SANMOTION」のラインアップを拡充し,
業界初のセンターマグネットタイプと,業界トップの加速度を実現したツインタイプを開発しました。
半導体製造装置,液晶ディスプレイ製造装置,チップマウンタ,ボンダ,搬送装置などに最適です。

SANMOTION リニアサーボシステム

特長

1. 装置に磁気吸引力が作用しない

センターマグネットタイプを業界で初めて製品化しました。
モータ自身で磁気吸引力を打ち消すことができ,装置の構造を簡素にできます。

2. 業界トップの加速度

両タイプともに25Gを達成し,業界トップの加速度を実現しました。※1
装置を高速に駆動でき,タクトタイムの短縮と生産性の向上に貢献します。

3. 小型,大推力

当社従来品※2と比べてセンターマグネットタイプは30%,ツインタイプは12%小さくなりました。
小型ながら推力は,当社従来品※2と比べてセンターマグネットタイプは42%,ツインタイプは13%向上し,
業界トップの性能です。※1,3

※1 類似形状のコア付型リニアサーボモータと比較した場合。2016年4月25日現在,当社調べ。

※2 当社従来品 リニアサーボシステム コア付ツインタイプ(型番:DD045CB4AN)

※3 当社従来品と単位体積あたりの推力を比較した場合。

仕様

センターマグネットタイプ リニアモータコイル

コイル型番 定格推力
[N]
最大推力
[N]
定格速度
[m/s]
最高速度
[m/s]
磁気吸引力
[N]
コイル質量
[kg]
サーボ
アンプ
型番
DT030CD1AN 350 650 1.9 2.5 0 2.4 RS2A03L
RS3A03L

センターマグネットタイプ マグネットレール

マグネットレール型番 マグネットレール長さ[mm] マグネットレール質量[kg]
DT030M128 128 0.5
DT030M256 256 0.9
DT030M512 512 1.9

ツインタイプ  リニアモータコイル

コイル型番 定格推力
[N]
最大推力
[N]
定格速度
[m/s]
最高速度
[m/s]
磁気吸引力
[N]
コイル質量
[kg]
サーボ
アンプ
型番
DD035CC2AN 610 1400 2.0 3.0 0 5.0 RS2A10L
RS3A07L

ツインタイプ マグネットレール

マグネットレール型番 マグネットレール長さ[mm] マグネットレール質量[kg]
DD035MB064 64 0.9
DD035MB128 128 1.9
DD035MB256 256 3.7
DD035MB512 512 7.5

用途

半導体製造装置,液晶ディスプレイ製造装置,チップマウンタ,ボンダ,搬送装置など

発売日

2016年6月1日

価格

オープンプライス

リリースに記載されている内容はすべて,2016年 4月 25日の実績です。
「SANMOTION」は山洋電気株式会社の登録商標です。