装置の小型化に貢献
——— リニア駆動ステッピングモータ ｢SANMOTION F5｣を開発
山洋電気株式会社は，5相ステッピングシステム「SANMOTION F5」のラインアップを拡充し，リニア駆動ステッピングモータを開発しました。
多くの半導体製造装置や，一般産業機器などでは，ステッピングモータの回転をボールねじで直線運動に変換しています。
本製品は5相ステッピングモータにボールねじを一体化してコンパクトに収めました。装置を小型化できます。
半導体製造装置，一般産業機械，工作機械，搬送機器などに最適です。
特長
装置を小型化
モータとボールねじが一体化されているため装置を小型にできます。
業界トップの大推力※1
業界トップの最大推力450Ｎを実現しました。
業界トップのストローク長※1
業界トップのストローク長80mm※2を実現しました。
※1 2010年6月9日現在。ボールねじを内蔵した同サイズのステッピングモータとして。当社調べ。
※2 型番：SL5601-82XB41，SL5601-8241 の場合。
仕様
| 型番 | SL5421-7241 | SL5421-72XB41 | SL5601-8241 | SL5601-82XB41 |
|---|---|---|---|---|
| フランジサイズ | 42mm | 60mm | ||
| ブレーキ | なし | 付き | なし | 付き |
| 定格電流 | 0.75A | 1.4A | ||
| ストローク | 50mm | 80mm | ||
| 推力 | 370N | 450N | ||
| ブレーキ保持力 | なし | 370N | なし | 450N |
| 速度 | 48mm/s | 64mm/s | ||
| 分解能 | 0.004mm | 0.008mm | ||
| 繰り返し位置決め精度 | ±0.02mm | |||
| ロストモーション | 0.1mm | |||
| 質量 | 0.65kg | 0.8kg | 1.4kg | 1.7kg |
| 組合せドライバ型式 | FS1D140P10 | |||
カタログデータ
⇒ 日本語[PDF 168KB]
⇒ 英語[PDF 60KB]
用途
半導体製造装置，一般産業機械，工作機械，搬送機器など
動作イメージ
発売日
2010年6月9日
販売見込台数
フランジサイズ 42mm ブレーキなし（型番SL5421-7241）：初年度 100台，次年度 200台
フランジサイズ 42mm ブレーキ付き（型番SL5421-72XB41）：初年度 100台，次年度 200台
フランジサイズ 60mm ブレーキなし（型番SL5601-8241）：初年度 100台，次年度 200台
フランジサイズ 60mm ブレーキ付き（型番SL5601-82XB41）：初年度 100台，次年度 200台
リリースに記載されている内容はすべて，2010年6月9日現在の実績です。
「SANMOTION」は山洋電気株式会社の登録商標です。
Close this page